ГОСТ 26239.5-84
Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
Обозначение | ГОСТ 26239.5-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01 |
Ключевые слова | кремний полупроводниковый;кварц;определение примесей;метод нейтронно-активационный;аппаратура;материалы;реактивы |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78;ГОСТ 618-73;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1089-82;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4220-75;ГОСТ 4233-77;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4951-79;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 11125-78;ГОСТ 12797-77;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18289-78;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 18344-78;ГОСТ 24104-88;ГОСТ 26239.0-84 |
Нормативные ссылки на: Прочие | ОСП 72/87 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 18 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |
Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия