ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Обозначение | ГОСТ 26239.1-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
Ключевые слова | кремний полупроводниковый;двуокись кремния;кварц;кремний четыреххлористый;трихлорсилан;определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным;аппаратура;материалы;реактивы |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78;ГОСТ 804-72;ГОСТ 849-70;ГОСТ 859-78;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 1467-77;ГОСТ 3118-77;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3778-77;ГОСТ 4331-78;ГОСТ 4461-77;ГОСТ 4526-75;ГОСТ 4530-76;ГОСТ 5905-79;ГОСТ 6008-82;ГОСТ 6835-80;ГОСТ 6836-80;ГОСТ 10216-75;ГОСТ 10262-73;ГОСТ 10928-75;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13610-79;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 16539-79;ГОСТ 17746-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 22516-77;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84 |
Нормативные ссылки на: Прочие | ТУ 6-09-5382-88 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 19 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |
Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия