Справочник по ГОСТам и стандартам
Новости Аналитика и цены Металлоторговля Доска объявлений Подписка Реклама
   ГОСТы, стандарты, нормы, правила
 

ГОСТ 25196-82
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

ОбозначениеГОСТ 25196-82
Заглавие на русском языкеОборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Заглавие на английском языкеVacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата введения в действие01.07.1983
ОКС23.160
Код ОКП627335
Код КГСЭ71
Код ОКСТУ6273
Индекс рубрикатора ГРНТИ4713
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Ключевые словаоборудование вакуумное;установки для ионной имплантации
Вид стандартаСтандарты на продукцию (услуги)
Вид требованийДокумент имеет отметку *
Содержит требования: СЭВСТ СЭВ 2760-80
Нормативные ссылки на: ГОСТГОСТ 24786-81
Управление Ростехрегулирования220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении
Разработчик МНДРоссийская Федерация
Дата последнего издания04.05.1982
Количество страниц (оригинала)3
СтатусДействует

Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия

Выставки и конференции по рынку металлов и металлопродукции

Установите мобильное приложение Metaltorg: