Справочник по ГОСТам и стандартам
Новости Аналитика и цены Металлоторговля Доска объявлений Подписка Реклама
   ГОСТы, стандарты, нормы, правила
 

ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

ОбозначениеГОСТ Р 8.640-2008
Заглавие на русском языкеГосударственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Заглавие на английском языкеState sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата введения в действие01.01.2009
ОКС17.020
Код КГСТ84
Код ОКСТУ0008
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Ключевые словаэнергетическая освещенность;спектральная чувствительность;средства измерений;ультрафиолетовое излучение;радиометр;фотолитография
Вид стандартаОсновополагающие стандарты
Дескрипторы (английский язык)state sysem, ensuring, uniformity, measurements, radiometer, ultraviolet radiation , photolithography, technological processes, testing, methods
Нормативные ссылки на: ГОСТГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001
Документ внесен организацией СНГФедеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Управление Ростехрегулирования310 - Управление метрологии
Технический комитет России386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии
Дата последнего издания15.05.2008
Количество страниц (оригинала)15
Организация - РазработчикФедеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ)
СтатусДействует

Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия

Выставки и конференции по рынку металлов и металлопродукции

Установите мобильное приложение Metaltorg: