| |
| Обозначение | ГОСТ 26239.7-84 |
| Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination |
| Дата введения в действие | 01.01.1986 |
| ОКС | 29.045 |
| Код КГС | В59 |
| Код ОКСТУ | 1709 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами |
| Ключевые слова |
кремний полупроводниковый; метод определения; кислород; углерод; азот; аппаратура; материалы; реактивы; |
| Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
| Вид требований | Документ имеет отметку * |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 334-73; ГОСТ 742-78; ГОСТ 828-77; ГОСТ 2156-76; ГОСТ 3647-80; ГОСТ 3760-79; ГОСТ 4204-77; ГОСТ 4461-77; ГОСТ 4828-83; ГОСТ 5072-79; ГОСТ 6709-72; ГОСТ 10297-75; ГОСТ 10484-78; ГОСТ 18300-87; ГОСТ 20288-74; ГОСТ 26239.0-84 |
| Нормативные ссылки на: Прочие | ОСП-72/87 |
| Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
| Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
| Дата последнего издания | 21.01.1985 |
| Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
| Количество страниц (оригинала) | 19 |
| Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ 26239.7-84" в формате pdf 