ГОСТ 25661-83 Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Обозначение
ГОСТ 25661-83
Заглавие на русском языке
Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Заглавие на английском языке
Installations for final water treatment. General technical requirement
Дата введения в действие
01.01.1984
ОКС
13.060.30; 71.120.99
Код ОКП
636101
Код КГС
Э71
Код ОКСТУ
6361
Индекс рубрикатора ГРНТИ
4713 5; 929
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции