Справочник по ГОСТам и стандартам
Новости Аналитика и цены Металлоторговля Доска объявлений Подписка Реклама
   ГОСТы, стандарты, нормы, правила
 

ГОСТ Р 52250-2004
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

ОбозначениеГОСТ Р 52250-2004
Заглавие на русском языкеМатериалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Заглавие на английском языкеElectronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата введения в действие01.01.2005
ОКС71.080.99
Код ОКП249642
Код КГСЭ10
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Ключевые слова резист;   чувствительность к излучению;   разрешающая способность;   состав параметров;   сохраняемость;   испытания;   приемка;   
Термины и определенияРаздел стандарта
Вид стандартаСтандарты на методы контроля
Вид требованийДокумент имеет отметку *
Дескрипторы (английский язык)electronic engineering materials, resists, lithography processes, specifications
Нормативные ссылки на: ГОСТГОСТ 2.114-95; ГОСТ 12.1.005-88; ГОСТ 12.1.007-76; ГОСТ 12.1.014-84; ГОСТ 33-2000; ГОСТ 3885-73; ГОСТ 7376-89; ГОСТ 10028-81; ГОСТ 13841-95; ГОСТ 14192-96; ГОСТ 14870-77; ГОСТ 17622-72; ГОСТ 19433-88; ГОСТ 22001-87; ГОСТ 27025-86; ГОСТ Р 50766-95
Документ внесен организацией СНГГосстандарт России
Управление Ростехрегулирования000 - Управление стандартизации
Технический комитет России303 - Изделия электронной техники, материалы и оборудование
Дата последнего издания02.07.2004
Количество страниц (оригинала)31
Организация - РазработчикОткрытое акционерное общество "Российский научно-исследовательский институт "Электронстандарт"; Федеральное государственное унитарное предприятие "22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны РФ"
СтатусДействует

Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия

Выставки и конференции по рынку металлов и металлопродукции

Установите мобильное приложение Metaltorg: